MEMS-Sensoren

Beschleunigungsmesser
Murata ist der weltweite Marktführer von Sensoren für geringe Beschleunigungen für Automobilanwendungen. Die umfangreiche Produktpalette der Beschleunigungsmesser beinhaltet leistungsstarke digitale und analoge Beschleunigungsmesser für sicherheitskritische Anwendungen im Automobil- und Industriebereich. Die Beschleunigungsmesser von Murata basieren auf der proprietären 3D-MEMS-Technologie des Unternehmens und bieten eine Reihe von ausgezeichneten Produkteigenschaften und Vorteilen für die anspruchsvollsten Anwendungen. Das Sensorelement und der Mess-ASIC sind in einem Dual-In-Line- oder Dual-In-Flat-Line-Gehäuse aus Kunststoff mit Pins für Oberflächenmontage und Reflow-Löten untergebracht. Sie sind gegen Umwelteinflüsse mit Silikongel geschützt. Hieraus resultiert eine hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit in feuchter Umgebung und bei Temperaturzyklen.

Darüber hinaus ermöglicht das robuste Design des Messelements mit gedämpfter Frequenzreaktion eine ausgezeichnete Leistung, sogar in rauher und vibrierender Umgebung. Die Messrichtung ist parallel oder senkrecht zur  Montage-Ebene. Die ASIC enthält einen On-Chip-EEPROM-Speicher mit Kalibrierungs-Koeffizienten für die Kompabilität der Einheit. Die Beschleunigungsmesser von Murata verfügen über verbesserte Fehlererkennung: Digital aktivierter Selbsttest, Kalibrierungsspeicher-Parität oder Sum-Check und kontinuierliche Erkennung fehlerhafter Verbindungen. Die Produkte sind für horizontale und vertikale Messungen bestimmt. Die Nullpunkt-Temperaturabhängigkeit ist geringer als 1 mg /°C.

Neigungssensoren
Die Neigungssensoren von Murata sind eine optimale Wahl für hochgenaue Nivellierungs- und Neigungs-Messinstrumente. Die höchste Genauigkeit bietet die SCA103T-Serie, die ein differentielles Messprinzip nutzt, um alle Gleichtaktspannungsfehler und Rauscheffekte zu kompensieren. Die beste Schlagfestigkeit des MEMS Markts bietet einwandfreie Messungen bei Erdbewegungsmaschinen, Fahrzeugen, Flugzeugen, Baumaschinen und handgehaltenen Geräten.

Gyroskope
Murata Electronics Oy entwickelt und produziert Gyroskop-Komponenten und kombinierte Sensoren (einschließlich Gyroskop und Beschleunigungsmesser), basierend auf der bewährten 3D-MEMS-Technologie und hoch- integrierten Elektronik. Industrielle Gyroskope bieten eine Performance, die in der Regel nur für teure Modulprodukte verfügbar war. Erfassungs-Elemente und Mess-Schaltung sind in einem vorgeformten Kunststoff Dual-in-Line (DIL)-Gehäuse zusammengeführt, mittels Silikongel geschützt und mit einem Edelstahldeckel verschlossen. Alle Produkte sind RoHS-kompatibel und für bleifreies Reflow-Löten geeignet.