Condizionatori di piazzole CMP

I condizionatori di piazzole a planarizzazione chimico-meccanica (CMP) di 3M, diamantati, a spazzola morbida e a micro replica, sono progettati per soddisfare i requisiti di processo più esigenti. Grazie a strutture ceramiche micro replicate e diamantate progettate con estrema precisione, i condizionatori di piazzole Trizact™ di 3M offrono prestazioni eccellenti ed estremamente costanti da disco a disco per i processi di nodi avanzati più impegnativi. I condizionatori di piazzole diamantati utilizzano una tecnologia abrasiva sinterizzata esclusiva di 3M per fornire una potente tenuta chimica e meccanica tra i diamanti e il substrato, che contribuisce a mantenere i diamanti intatti e in posizione per prestazioni di condizionamento costanti a lungo termine.